Các từ viết tắt thường được sử dụng cho đơn vị quạt lọc hoạt động sản xuất chất bán dẫn
Quy trình làm việc chính của nó là:
(1) Bởi bộ xử lý điều hòa không khí đến không khí (không khí trong lành) được xử lý thành điểm trạng thái cần thiết được gửi đến hộp áp suất tĩnh và hỗn hợp không khí hồi lưu, và sau đó quạt đơn vị quạt lọc được điều áp bởi bộ lọc hiệu suất cao (HEPA) hoặc bộ lọc không khí hiệu suất cực cao (ULPA) được lọc vào phòng sạch;
(2) không khí cũ ban đầu thông qua sàn nâng hoặc thành bên phân phối trở lại cuộn dây khô, trong cuộn dây khô trong xử lý lạnh (nóng), và sau đó quay trở lại máy điều áp được gửi trở lại hộp áp suất tĩnh, điều này hoàn thành quá trình.
(3) Sau khi xử lý lạnh (nóng) trong cuộn dây khô, nó được gửi trở lại hộp áp suất tĩnh bằng máy ép trở lại, hoàn thành toàn bộ chu trình lọc không khí trong phòng sạch.
Một hệ thống như vậy thường được sử dụng ở những nơi có nhu cầu về phòng sạch siêu yên tĩnh, chẳng hạn như phòng sạch để chế tạo các tấm wafer mạch tích hợp lớn, màn hình TFT, đĩa cứng thể rắn, v.v.
Đối với những người muốn nâng cao thiết lập phòng sạch của họ, Quạt thông gió dòng FKL55 có bộ lọc là một sự lựa chọn tuyệt vời. Dòng sản phẩm này cung cấp khả năng lọc và lọc không khí vượt trội, đảm bảo phòng sạch của bạn không có chất gây ô nhiễm. Nhấp vào liên kết để tìm hiểu thêm và mua trực tiếp từ trang web của chúng tôi.
Lần này chúng tôi giới thiệu thuật ngữ được sử dụng trong các ứng dụng bán dẫn:
Nhà máy tiện ích trung tâm CUP
Nước thải hữu cơ OWW
DAHW Drain Chất thải Amonia Hydride
PAW Axit photphoric Nước thải
Hộp ống góp van VMB
